Почему в кремниевых пластинах используется 100-кристаллическая ориентация?

В производстве полупроводников кремниевые пластины часто используют ориентацию кристаллов 100, поскольку ориентация кристаллов 100 имеет следующие преимущества и применимость:
1. Базовая кристаллическая структура: Кристаллическая структура кремния является гранецентрированной кубической (ГЦК), в которой ориентация кристалла (100) является наиболее плотно упакованной кристаллической плоскостью. Это означает, что кремниевые пластины с ориентацией кристалла (100) имеют более высокую плоскостность в структуре решетки и постоянство параметров решетки, что делает их более подходящими для использования в качестве материалов подложек для полупроводниковых приборов.
2. Преимущества процесса производства: (100) кремниевые пластины с кристаллической ориентацией имеют преимущества в производственных процессах. Благодаря высокой плоскостности поверхности травление, осаждение и другие процессы обработки могут быть выполнены легче. Кроме того, (100) ориентированные кремниевые пластины также легче поддаются физической и химической обработке, что делает их пригодными для изготовления интегральных схем и других полупроводниковых приборов.
3. Постоянство ориентации кристаллов: использование кремниевых пластин с ориентацией кристаллов (100) может сделать пластины более последовательными и повторяемыми в процессе производства. Это очень важно для обеспечения постоянства производительности устройства и управляемости процесса производства.
4. Удобство подложки: (100) ориентированная кремниевая пластина имеет хорошее соответствие и совместимость в качестве материала подложки. Она может быть согласована со многими обычно используемыми полупроводниковыми материалами и многослойными структурами, что делает ее более подходящей для подготовки различных типов полупроводниковых приборов.