Как делятся марки кремниевых пластин?

Марка кремниевой пластины:
MG-Si → SeG-Si → SoG-Si
Процесс переработки проходит следующим образом:
Кварцевый песок → Металлургический кремний → Рафинирование и очистка → Осажденные слитки поликристаллического кремния → Монокристаллический кремний → Резка кремниевых пластин.
Металлургический кремний MG-Si
Сырьем для очистки кремния является SiO2, который в основном состоит из песка. В настоящее время кристаллическая порода SiO2, а именно известняк, восстанавливается углеродом в большой электродуговой печи: SiO2+2C→Si+2CO
Его регулярно выливают из печи, очищают кислородом и смешанным газом кислород-хлор, затем выливают в неглубокую емкость для затвердевания, а затем прессуют в блоки.
MG-Si очищается до SeG-Si
Стандартный метод очистки: Сименс.
MG-Si преобразуется в летучие соединения, которые затем конденсируются и очищаются методом фракционной перегонки.
Процедура процесса: Используйте HCl для превращения тонкодисперсного MG-Si в жидкость.
Используйте катализатор для ускорения реакции: Si+3Hcl→SiHCl3+H2
MG-Si →SiHCl3 силиконовое промышленное сырье
Для извлечения нагреваемого смешанного газа MG-Si SiHCl3 восстанавливается H2, а кремний осаждается на электронагревательном стержне в виде мелкозернистого поликремния, как показано справа: SiHCl3+H2 → Si+3HCl
SeG-Si очищенный до SoG-Si
Поликремний SeG-Si расплавляется, и добавляется необходимое для устройства количество легирующей примеси, обычно бора (легирующая примесь P-типа).
Большие цилиндрические монокристаллические кремниевые стержни могут быть вытянуты из расплавленного кремния с использованием затравочных кристаллов, когда температура может быть тщательно контролируема. Диаметр превышает 125 см, а длина составляет 1~2 м.