Производители кремниевых карбидных пластин: список мировых поставщиков и как сделать выбор.
Jul 14, 2026
Подложки из карбида кремния (SiC) поставляются довольно коротким списком компаний в США, Европе, Японии и Китае. К известным поставщикам относятся Wolfspeed, Coherent (ранее II-VI), SiCrystal (группа ROHM), Resonac, SICC и TankeBlue. Некоторые крупные производители микросхем выращивают SiC в основном для собственных устройств и мало продают на открытом рынке.
Эта страница опубликована компанией Zhonggui Semiconductor, которая также продает пластины SiC. Список ниже приведен в алфавитном порядке и не является рейтингом.
Производители устройств SiC и производители пластин SiC разные
Во многих списках «лучших SiC» смешаны две группы. Такие компании, как Infineon, Toshiba и Nexperia, продают SiC MOSFET и диоды, но покупка у них голой SiC-подложки невозможна. В таблице ниже представлены компании, которые выращивают кристаллы SiC и продают или производят подложки. Некоторые из них, такие как onsemi и STMicroelectronics, также являются производителями устройств, которые используют большую часть собственных подложек.
Диаметр изменяется от 150 мм (6 дюймов) до 200 мм (8 дюймов) для силовых устройств. 100 мм (4 дюйма) до сих пор широко используется в исследованиях и для полуизолирующих радиочастотных подложек.
Краткий обзор производителей SiC пластин
| Компания | Штаб-квартира | Примечания (общеизвестные) |
|---|---|---|
| Coherent Corp. (ранее II-VI, переименована в 2022 г.) | Саксонбург, Пенсильвания, США | Проводящие (n-тип 4H) и полуизолирующие подложки SiC диаметром до 200 мм, включая 150 мм и 200 мм. |
| дыхание | Скоттсдейл, Аризона, США | Выращивает шарики SiC после покупки GT Advanced Technologies в 2021 году, в основном для собственных силовых устройств. |
| Резонак (ранее Сёва Денко, переименован в 2023 г.) | Токио, Япония | Наиболее известна эпитаксиальными пластинами SiC для силовых устройств, выращенными на монокристаллических подложках SiC. |
| Компания СИКК, ООО | Цзинань, Шаньдун, Китай | Проводящие и полуизолирующие подложки SiC; Проводящие подложки 150 мм и 200 мм |
| SiCrystal GmbH (группа ROHM) | Нюрнберг, Германия | Производитель подложек SiC, принадлежащий ROHM; поставляет ROHM и сторонним заказчикам, в том числе пластины диаметром 150 мм по долгосрочному соглашению с STMicroelectronics |
| СТМикроэлектроника | Женева, Швейцария | Разработка и производство подложек SiC в Норчёпинге, Швеция (ранее Norstel, приобретена в 2019 г.) и Катании, Италия, в основном для собственных устройств. |
| ThinkBlue | Пекин, Китай | Проводящие подложки SiC диаметром 100, 150 и 200 мм; полуизолирующие толщиной 100 и 150 мм |
| Wolfspeed (ранее Cree, переименован в 2021 г.) | Дарем, Северная Каролина, США | Подложки SiC 4H n-типа диаметром 150 мм и 200 мм, а также эпитаксиальные пластины SiC. Завершили финансовую реструктуризацию согласно Главе 11 в сентябре 2025 года и продолжают работать. |
| Zhonggui Semiconductor (издатель этой страницы) | Янчжоу, Цзянсу, Китай | пластины 4H и 6H SiC; см. ниже |
Информация по состоянию на октябрь 2026 г. Изменились линейки продуктов, диаметры и владельцы, поэтому уточняйте текущие данные у каждого поставщика перед заказом.
Как выбрать поставщика пластин SiC
Цена SiC сопоставима только в том случае, если ее спецификация является полной. Сначала исправьте эти моменты.
Контрольный список спецификаций
- Политип.4H-SiC является стандартом для силовых устройств. 6H-SiC используется в основном в исследованиях и некоторых старых оптоэлектронных работах. Смотрите наши заметки наПластины 4H-SiC.
- Проводимость и примеси.N-типа (легированный азотом) для силовых устройств; полуизолирующие (легированные ванадием или высокой чистоты) для RF GaN-on-SiC. Укажите необходимый диапазон сопротивлений.
- Оценка.Производственные, исследовательские и макетные марки различаются пределом дефектности и ценой. Названия классов не стандартизированы, поэтому сравните цифры, стоящие за ними.
- Характеристики дефекта.Плотность микротруб (MPD) — главный показатель. Для силовых устройств также спросите о смещениях в базальной плоскости, смещениях резьбовых винтов и полезной площади.
- Ориентация и обрезка.Проводящие подложки 4H для эпитаксии обычно отклоняются от оси на 4° в сторону <11-20>. Полуизолирующие пластины часто располагаются на оси. Государственный угол и допуск.
- Диаметр, толщина и плоскостность.100, 150 или 200 мм; допуск по толщине; ТТВ, лук и варп.
- Отделка поверхности.Какая поверхность полируется (Si-face или C-face), готова ли она к CMP epi-ready, а также характеристики шероховатости.
- Минимальный заказ и время выполнения заказа.Крупные поставщики часто выделяют емкость 150 мм и 200 мм постоянным клиентам. Спросите, что есть в наличии.
- Документация.Данные по удельному сопротивлению, MPD и плоскостности для каждой пластины, а также сертификат соответствия.
Вопросы, которые следует задать поставщику
- Вы выращиваете були сами или перерабатываете вафли, выращенные где-то еще?
- Какие ограничения MPD и другие ограничения по дефектам применяются к указанной вами марке?
- Могу ли я увидеть образец отчета по каждой пластине и карту дефектов?
- Каков срок поставки стандартных пластин, а также нестандартной толщины или обрезков?
- Каков минимальный заказ и продаете ли вы вафли поштучно или нарезанные кубиками?
- Как вафли упаковываются для транспортировки?
Где подходит Zhonggui Semiconductor
Компания Zhonggui Semiconductor была основана в 2009 году в Янчжоу, Цзянсу, Китай, и сертифицирована по стандарту ISO 9001. Мы выполняем нарезку, шлифовку, снятие фасок и полировку CMP на месте с окончательной обработкой в чистом помещении класса 100. Общий объем производства составляет около 10 000 пластин в месяц по нашим материалам.
Для SiC мы поставляем пластины 4H и 6H. Это делает нас практичным вариантом для исследовательских лабораторий, университетов и небольших компаний, которым нужны скромные количества или индивидуальные спецификации. Если вам нужны большие объемы поставок для производственной линии, обратитесь также к более крупным поставщикам, указанным в таблице выше, и сравните предложения. Заказы доставляются FedEx.
Посмотрите нашДиапазон пластин SiCиХарактеристики пластин 4H-SiC, илипришлите нам свою спецификациюдля цитаты. Мы также поставляемInP пластины.
Часто задаваемые вопросы
Какие компании производят пластины SiC?
Wolfspeed, Coherent, SiCrystal (группа ROHM), Resonac, SICC и TankeBlue являются одними из самых известных. onsemi и STMicroelectronics также выращивают SiC, в основном для своих собственных устройств.
Что лучше: 4H или 6H SiC?
Это зависит от использования. 4H-SiC имеет более высокую подвижность электронов и является стандартом для силовых МОП-транзисторов и диодов. 6H-SiC в основном используется в исследованиях и некоторых устаревших приложениях.
Что такое плотность микротрубок?
Микротрубки — это полые винтовые дислокации, которые проходят через кристалл и могут вывести из строя устройство. Плотность микротрубок рассчитывается на см², и более низкие значения означают более высокую долю годной к использованию матрицы.
Почему пластины SiC стоят намного дороже кремниевых?
Кристаллы SiC растут медленно при очень высокой температуре, и этот материал трудно разрезать и полировать. Выходы ниже, чем у кремния, особенно при больших диаметрах.